■知的財産


■特許

(1) ワーク受け渡し装置 特許1837493
真空蒸着装置等で最小限の操作で基板受け渡しを可能にした装置
 
(2) 真空処理装置に於けるワーク回転装置 特許1837494
成膜時基板を水平および傾斜の選択が簡単な構造で行える装置
 
(3) 光励起プロセス装置 特願昭61-203877
真空紫外光導入室部にプロセスガスを導入するノズルを設けている装置において、
ノズルの側部に一方向に向けて不活性ガスを噴出す機構を備えた装置
 
(4) 回転羽根の透視を利用した覗き窓シャッター 特願2002-235260
真空蒸着中に蒸着膜の飛び散りにより蒸発粒子覗き窓に付着するのを
軽減しながら同時に真空構内の観視を容易にした装置
 
(5) マルチシールポート装置 出願手続き中
径の違う真空測定子がひとつのシールポートで真空気密できる装置
 
(6) 軸状部品用支持トレー 特開2008-201430
多量のガラス長尺細管を同時に整列できる装置
 
(7) 打込み装置 特許5894818 ←New 16/3/4
ファンブレードと衝突させる衝突体を打込みタイミングを高精度に制御する装置

■実用新案

(1) 膜厚測定用センサーヘッド装置 登録願22502
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(2) 蒸発源における試料ワイヤーの供給装置 実登1317789
るつぼ内の試料を電子銃の出力電子ビームにより上面から照射する式の蒸発源において、
これにその側面から試料ワイヤーを供給する装置
 
(3) 蒸発源における試料ワイヤーの供給装置(2) 実登1317790
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(4) 自公転治具装置 実願昭53-175927
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(5) ワーク搬送治具 実登1749475
真空処理室内でシリコンウエハその他のワークを自動的に搬送する
 
(6) 超高真空可変オリフィス 実願昭60-128835
コンダクタンス化変量が大きく、耐熱性があってベーキング可能な超高真空用の可変オリフィス

■意匠登録

(1) ガスケット仮止めクリッパー 意匠登録第1069688
メタルガスケットがフランジ装着時に脱落するのを防止する装置